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石英管微波等离子体发生装置 微波等离子体分析仪 等离子体发生装置

简要描述:石英管微波等离子体发生装置 微波等离子体分析仪 等离子体发生装置
该设备利用频率为2.45GHz的微波激励稀薄气体放电,从而产生等离子体。真空反应室为Φ50mm的石英管腔体。放置样品的基片台可以方便地在反应腔体内上下升降调节。

产品型号: BXS01-HF19-FM

所属分类:电子仪表

更新时间:2016-03-28

厂商性质:生产厂家

详情介绍

石英管微波等离子体发生装置 微波等离子体分析仪 等离子体发生装置

型号:BXS01-HF19-FM

该设备利用频率为2.45GHz的微波激励稀薄气体放电,从而产生等离子体。真空反应室为Φ50mm的石英管腔体。放置样品的基片台可以方便地在反应腔体内上下升降调节。

石英管微波等离子体发生装置 微波等离子体分析仪 等离子体发生装置

基片台位于石英管反应腔体的中心,该基片台除了基本的上下升降功能外,同时具有水冷控温的功能,双层水冷支架与基片台可方便地拆卸与维护,即使样品以不同的形态(片状、块状、粉末状等)出现,更换或改装基片台也十分方便。

石英管反应腔两端有双层水冷套作降温保护,端口以不锈钢部件固定并密封(加橡胶)石英腔体,以确保反应腔的安全稳定工作。

该设备的真空系统采用2XZ-2型旋片真空泵,极限真空6×10-1帕,抽速2升/秒,额定转速1400转/分,机械泵与真空室之间设置有电磁阀和高真空隔膜阀,旁路管道设置另一隔断阀(高真空微调阀),以便于真空系统运行安全及工作时反应气体压强的灵活控制。真空密封采用金属和橡胶密封,通常:相对不动接口采用金属铜密封,相对可动接口采用橡胶密封。

真空测量采用数字压阻式真空计,用来测量反应腔内的工作气压。

主要电气配置:

1) 真空泵:2XZ-2型旋片真空泵采用单相220V交流电源,对实验室电源无特殊要求。

2) 磁控管:采用工业上通用的磁控管,该磁控管具有使用寿命长、可靠性高的特点,维护方便。

3) 真空计:采用压阻式真空计,用于测量工作时的工作气压。

4) 温控仪:用于冷却水循环系统中的制冷及水温控制。

5) 500W微波功率源:通过调节磁控管阳极电压的方法调节微波功率的输出,利用简单、可靠、易维护的电路实现微波功率的连续可调输出。

6) 冷却水:装置自带循环冷却水,对实验室无水源要求,既节水又方便。

二、技术参数及特性1. 反应室工作压强:几百帕~十千帕

2. 反应室极限压强: 6×10-1帕3. 反应室尺寸: Φ50mm

4. 微波功率: 0~500W5. 基片温控: 200~1000℃

外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米(mm)

测量范围 0.500W(Ω)

 



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